晶圓和框架探測

我們的晶圓和晶圓架探針站針對各種MEMS和其他半導體器件的測試和校準進行了優化。我們的特定應用測試解決方案的主要好處是:

  • 在晶圓級的早期器件表徵 -> 更快的上市時間
  • 改善晶圓製造期間的品質控制 -> 更好的產量和產品品質
  • 在晶圓分揀期間已知的好模具和品質分檔 -> 節省成本
  • 晶圓級封裝器件的最終測試 — 通過消除取放操作提高產量

AIOLOS

壓力感測器測試系統

我們多功能的AIOLOS平臺提供了從開發實驗室到大批量生產的自動探測。它可以滿足高達200毫米晶圓和晶圓架的要求。該系統允許機器人和手動裝載。

標準配置支援從標準真空到2.000hPa(abs)的壓力水準,解析度為Pa級。

它提供了一系列的溫度選項,允許在汽車級溫度水準上進行測試。

為了探測晶圓架上的切塊晶圓,AIOLOS配備了我們創新的主動對準功能,在一次接觸中最大限度地增加被測設備的數量。

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MPP

多用途框架/晶片探針系統

多功能的AFORE MPP平臺提供從開發實驗室到大批量生產的自動化探測。它可以滿足高達200毫米晶圓和晶圓框架的要求。

對於晶圓架上的切塊晶圓的探測,AFORE MPP配備了我們創新的主動對準功能,以最大限度地增加一次測試中的器件數量。

與我們的MSU10磁刺激裝置一起,該系統非常適合校準磁力計和其他需要磁場測試的設備。

該平臺的模組化設計允許測試各種設備,例如,用黑體源刺激的熱感測器。

KRONOS

慣性感測器晶圓探針系統

Afore的專業探針站用於精確測試和校準陀螺儀和加速度計。

探針站的堅固結構可以在任何方向或旋轉過程中進行探測、測試和步進,定位精度高。

KRONOS可以處理高達200毫米的晶圓尺寸,具有很高的多網站測試能力和可選的溫度卡盤系統。
該系統可以快速自動將晶圓或框架從卡盤裝到探測儀,再裝回去。

與MSU10磁刺激單元一起,KRONOS實現了真正的9DOF,在一個單一的過程步驟中使用真正的刺激來校準組合感測器系統,包括加速計、陀螺儀和磁力計。

這使得它也成為慣性和電子羅盤系統最終測試的完美解決方案。

MSU10

用於感測器校準的磁場產生器

MSU10磁激勵單元是為在晶圓探針站內的10x10mm均質場內測試和校準磁感測器而設計的。

三維激勵單元包括三個獨立的線圈,產生X、Y和Z磁場,磁通密度高達1000µT。

集成到我們的探針平台,激勵單元安裝在探針卡座的頂部,可以與我們定制設計的非磁性探針卡相結合。

CWP-HE

晶圓級QBIT測試

低溫晶圓探測儀CWP-HE是一個獨特的系統,用於低溫量子器件、電子器件和探測器的晶圓級測試。作為最高12英寸晶圓的探測解決方案,它可以在2K以下的溫度下進行測試。

與Afore的低溫探針卡一起,我們獨特的主動對準系統允許使用者在晶圓上的任何地方自動定位和接觸器件。

一個現代和直觀的使用者介面提供了直接控制和全面概述。探針站的4個伺服控制軸在測量過程中可以關閉,以儘量減少電子噪音,負載鎖定系統允許在低溫下快速更換晶圓。

CWP-HE是由Afore和Bluefors(芬蘭 “乾式 “低溫冷卻公司)合作開發。

最終測試和系統級測試系統

METIS

慣性感測器校準速率表

靈活的Metis速率台測試系統是為各種測試應用而設計的,從實驗室使用到運動感測器的中量生產測試。
其可配置的設計允許根據您的需求配置系統!

– 用於陀螺儀測試的1軸速率台
– 用於加速度計和陀螺儀測試的2軸裝置
– 用於同時進行偏航和俯仰測試的3軸萬向節系統

– 用於陀螺儀測試的1軸速率台
– 用於加速度計和陀螺儀測試的2軸裝置
– 用於同時進行偏航、俯仰和滾動刺激的3軸萬向節系統

多種工具和測量儀器選項為眾多應用帶來好處:

– 運動感測器研發
– 感測器組裝後校準
– 物聯網和虛擬實境設備軟體發展中的人體運動模擬

APOLLON

汽車級帶狀水準慣性感測器校準

Apollon是一個用於運動感測器校準的三溫帶水準測試系統。它提供了優良的測試條件,精確的刺激和準確的溫度控制,並具有低噪音水準。

該測試處理器特別為高端汽車MEMS陀螺儀和加速計測試而設計。嚴格控制的溫度從-50°C到+150°C,提供準確和統一的測試條件。

在測試前,DUT在系統的測試室裡被浸泡在所需的溫度下。這導致了非常高的測試能力。

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定製系統

我們為一系列MEMS和半導體設備的工藝步驟提供定制的系統開發服務,如鐳射打標、封裝、包裝檢測等等。