晶圆和框架探测

我们的晶圆和晶圆框架探针台针对各种 MEMS 和其他半导体器件的测试和校准进行了优化。我们的特定于应用的测试解决方案的主要优点是:

  • 在晶圆级进行早期器件表征 -> 更快的上市时间
  • 在晶圆制造过程中改进质量控制 -> 更好的良品率和产品质量
  • 晶圆测试期间的已知良好裸晶和质量分级 -> 成本节约
  • 晶圆级封装器件的最终测试 -> 通过消除拣选和放置操作来提高良品率

AIOLOS

压力传感器测试系统

我们的多功能 AIOLOS 平台提供从开发实验室到大批量生产的自动化探测。它适用于最大 200 毫米的晶圆和晶圆框架。该系统允许自动和手动装载。

标准配置支持在 Pa 级分辨率下从标准真空到 2.000hPa(abs) 的压力级。还提供可选的高真空和高压版本。

它提供了一系列温度选项,允许在汽车级温度水平下进行测试。

为了探测晶圆框架上的切割晶圆,AIOLOS 配备了我们创新的主动对准功能,可在一次接触中最大限度地增加待测器件的数量。

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MPP

多用途框架/晶圆探针系统

多功能 AFORE MPP 平台提供从开发实验室到大批量生产的自动化探测。它适用于最大 200 毫米的晶圆和晶圆框架。该系统允许制动和手动装载。

为了探测晶圆框架上的切割晶圆,AFORE MPP 配备了我们创新的主动对准功能,可在一次接触中最大限度地增加待测器件的数量。

AFORE MPP 平台提供了一系列温度选项,允许在汽车级温度水平下进行测试。

与我们的 MSU10 磁激励单元搭配后,该系统非常适合校准磁强计和其他需要磁场才能测试的设备。

该平台的模块化设计允许测试各种设备,例如用黑体源激励的热传感器。

KRONOS

惯性传感器晶圆探针系统

Afore 的专用探针台,适用于陀螺仪和加速度计的精确测试和校准。

探针台坚固的结构可以在任何方向或旋转过程中以高定位精度进行探测、测试和步进。它采用置于可无限旋转的双轴旋转单元中的独有机械装置。

KRONOS 可处理尺寸高达 200 毫米的晶圆,具有较高的多点测试能力和可选的温度吸盘系统。
该系统允许快速自动将晶圆或框架从盒子装载到探针台并返回。

与 MSU10 磁激励单元配合使用后,KRONOS 支持采用真正的 9 自由度在一个工艺步骤中使用真实的激励校准组合传感器系统,包括加速度计、陀螺仪和磁力计。

这也使其成为惯性和电子罗盘系统最终测试的完美解决方案。

MSU10

用于传感器校准的磁场发生器

MSU10 磁激励装置用于测试和校准晶圆探针台内 10×10 毫米均匀场内的磁传感器。

3D 激励单元包括三个独立的线圈,可产生 X、Y 和 Z 磁场,通量密度高达 1000µT。

集成到我们的探测平台后,激励装置会安装在探针卡支座的顶部,可以与我们定制设计的非磁性探针卡配合使用。

CWP-HE

晶圆级 QBIT 测试

低温晶圆探测器 CWP-HE 是一种用于低温量子器件、电子器件和探测器晶圆级测试的独有系统。作为最大可支持 12 英寸晶圆的探测解决方案,它可以在低于 2K 的温度下进行测试。该系统提供了快速样品表征的方法,其吞吐量比常用的低温室快 100 倍,并且可以对整个 300 毫米晶圆进行体积探测。

搭配 Afore 的低温探针卡,我们独有的主动对准系统允许用户自动定位和接触晶圆上任何位置的器件。

时尚直观的用户界面可提供直接控制和完整概览。探针台的 4 个伺服控制轴可以在测量期间关闭,以最大限度地减少电子噪声,并且预载系统允许在低温下快速更换晶圆。

CWP-HE 是 Afore 与芬兰“干式”低温冷却公司 Bluefors 合作开发的。

最终测试和系统级测试系统

METIS

惯性传感器校准速率表

灵活的 Metis 速率表测试系统可用于各种测试应用,包括从实验室测试到运动传感器的中等量产测试等等。
其可配置的设计允许根据您的需要配置系统!

– 用于陀螺仪测试的单轴速率表
– 用于加速计和陀螺仪测试的2 轴装置
– 用于同步偏航、俯仰和滚动激励的 3 轴万向节系统

多个工具和测量仪器选项可在许多应用中提供优势:

– 运动传感器研发
– 传感器组装后校准
– 物联网和虚拟现实设备软件开发中的人体运动模拟

APOLLON

汽车级基板级惯性传感器校准

Apollon 是一个用于运动传感器校准的三温基板级测试系统。它提供优良的测试条件、精确的激励和准确的温度控制,同时还具有低噪音的特点。

测试拣选机是专为高端汽车 MEMS 陀螺仪和加速度计测试而设计的。从 -50°C 到 +150°C 的严格控制温度可提供准确且一致的试验条件。

试验前,在系统反应室中以所需温度浸泡待测器件。这将获得非常高的测试容量。

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定制系统

我们为一系列 MEMS 和半导体器件工艺步骤(如激光打标、封装、包装检测等)提供定制系统开发服务。